日本shinkuu φ300mm Pt 鍍膜機(jī)MSP-12in

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更新日期：2024-03-21

簡要描述：

日本shinkuu φ300mm Pt 鍍膜機(jī)MSP-12in
配備兼容 12 英寸晶圓的大面積樣品臺(tái)。使用磁控管方法，當(dāng)涂層電壓為 500V 或更低時(shí)，可減少離子損傷。

詳細(xì)介紹

日本shinkuu φ300mm Pt 鍍膜機(jī)MSP-12in

配備兼容 12 英寸晶圓的大面積樣品臺(tái)。使用磁控管方法，當(dāng)涂層電壓為 500V 或更低時(shí)，可減少離子損傷。
從脫氣到大氣氣體引入和涂層的全自動(dòng)操作，具有自動(dòng)涂層功能。
配備前滑動(dòng)式樣品臺(tái)，可輕松放入和取出樣品。如果安裝 Ag 靶材，則可以輕松進(jìn)行透明薄膜等光澤處理。

12in 型和 12S 型取決于涂層區(qū)域！

MSP-12in
靶材的直徑為 12 英寸（直徑 300 毫米），均勻地覆蓋整個(gè) 12 英寸晶圓。它適用于大面積涂層和大量樣品的涂層。

MSP-12S
靶電極的尺寸為直徑 50 mm。當(dāng)您想要對(duì)大面積樣品（例如 12 英寸晶圓）的一部分進(jìn)行鍍膜時(shí)，可移動(dòng)靶非常有用。通過縮小電極尺寸可以降低運(yùn)行成本。此外，無需破碎大晶片。

日本shinkuu φ300mm Pt 鍍膜機(jī)MSP-12in

主要產(chǎn)品規(guī)格

物品	規(guī)格
電源	單相AC100V15A 3芯插頭帶地線
設(shè)備尺寸	寬 450 毫米，深 440 毫米，高 427 毫米（設(shè)備重量 30 公斤）
旋轉(zhuǎn)泵	G-101D 寬 234 mm，深 500 mm，高 264 mm 重量 25 kg
涂裝室尺寸	內(nèi)徑 330 毫米，高度 80 毫米
目標(biāo)電極尺寸	直徑300mm
樣品臺(tái)	直徑300mm

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