臺式離線分光干涉式測厚儀TOF-S

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更新日期：2024-03-20

簡要描述：

日本YAMABUN山文電氣臺式離線分光干涉式測厚儀TOF-S
實現(xiàn)高測量重復(fù)性（± 0.01 μm 或更小，取決于對象和測量條件）
不易受溫度變化的影響
可以生產(chǎn)用于研究和檢查的離線式和在制造過程中使用的在線式。
反射型允許從薄膜的一側(cè)進(jìn)行測量
僅可測量透明涂膜層（取決于測量條件）

詳細(xì)介紹

類型	數(shù)字式	測量范圍	1

日本YAMABUN山文電氣臺式離線分光干涉式測厚儀TOF-S

產(chǎn)品特點

實現(xiàn)高測量重復(fù)性（± 0.01 μm 或更小，取決于對象和測量條件）
不易受溫度變化的影響
可以生產(chǎn)用于研究和檢查的離線式和在制造過程中使用的在線式。
反射型允許從薄膜的一側(cè)進(jìn)行測量
僅可測量透明涂膜層（取決于測量條件）
模型飛行時間
測量方法非接觸式/光譜干涉式
測量對象電子和光學(xué)用透明平滑膜、多層膜
測量原理光譜干擾型
日本YAMABUN山文電氣臺式離線分光干涉式測厚儀TOF-S

模型	飛行時間
測量方法	非接觸式/光譜干涉式
測量對象	電子和光學(xué)用透明平滑膜、多層膜
測量原理	光譜干擾型

產(chǎn)品規(guī)格

測量厚度	1～50μm（薄材料）、10～150μm（厚材料）
測量長度	50-5000 毫米
測量間距	1 毫米 ~
小顯示值	0.001微米
電源電壓	AC100 V 50/60 Hz
工作溫度限制	5～45℃（測量時溫度變化1℃以內(nèi)）
濕度	35-80%（無冷凝）
測量區(qū)域	φ0.6 毫米
測量間隙	約 30 毫米

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臺式離線分光干涉式測厚儀TOF-S

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