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日本ace適用于半導(dǎo)體制造工藝的壓力控制器

訪問次數(shù):1887

更新日期:2024-03-19

簡要描述:

日本ace適用于半導(dǎo)體制造工藝的壓力控制器AP250 / AP500
AP250和AP500是適用于半導(dǎo)體制造工藝等中使用的清潔氣體壓力控制的大流量型控制器,由氣壓控制單元(相當于AP100N)和圓頂型調(diào)節(jié)器單元組成。

日本ace適用于半導(dǎo)體制造工藝的壓力控制器
測量范圍1MPa

日本ace適用于半導(dǎo)體制造工藝的壓力控制器AP250 / AP500

 

AP250和AP500是適用于半導(dǎo)體制造工藝等中使用的清潔氣體壓力控制的大流量型控制器,由氣壓控制單元(相當于AP100N)和圓頂型調(diào)節(jié)器單元組成。

 

 此外,外部安裝有壓力傳感器,來自傳感器的信號輸入到氣壓控制單元,氣壓控制組的閥被開/關(guān)控制,以調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)器中球罩的內(nèi)部壓力自動調(diào)節(jié)以匹配任何設(shè)定的壓力值。通過將流量傳感器安裝到外部,它也可以用作流量控制器。

 

 AP250的控制流量為5001 / min,AP500的控制流量為2000L / min,兩種類型的控制壓力約為600kPa。

 

 壓力接頭與適用于AP250的1/2“ VCR和適用于AP500的3/4” SWAG等效或等同于用于AP500的3/4“ VCR等效。適用于真空清潔氣體,用于導(dǎo)體,惰性氣體,腐蝕性氣體,危險氣體等可以使用。

日本ace適用于半導(dǎo)體制造工藝的壓力控制器AP250 / AP500

規(guī)格

模型AP250AP500
主要用途對于FPD,燃料電池對于FPD,燃料電池
目標氣體N2,空氣,H2等N2,空氣,H2等
入口壓力999kPa以下999kPa以下
耐壓小于1500kPa小于1500kPa
壓力設(shè)定用顯示設(shè)定裝置設(shè)定用顯示設(shè)定裝置設(shè)定
控制方式圓頂內(nèi)部的氣動控制圓頂內(nèi)部的氣動控制
控制壓力0-500kPa0-500kPa
流量500L /分鐘2000L /分鐘
響應(yīng)時間1秒鐘達到設(shè)定值1秒鐘達到設(shè)定值
輸入信號0-5 VDC連續(xù)/關(guān)閉0-5 VDC連續(xù)/關(guān)閉
RS485RS485
外部傳感器輸入(4至20mA標準)(4至20mA標準)
輸出信號報警輸出,RS485報警輸出,RS485
管件相當于1/2英寸的VCR或相當于1/2英寸的世偉洛克相當于3/4英寸的VCR或相當于3/4英寸的世偉洛克
閥座泄漏10-5Pa ? m3 /秒以下10-5Pa ? m3 /秒以下
準確性取決于壓力傳感器的規(guī)格取決于壓力傳感器的規(guī)格
電源電壓24VDC±10%24VDC±10%
目前的消費200mA以下200mA以下
工作溫度0-50℃無凝結(jié)0-50℃無凝結(jié)
面之間的外部尺寸寬70×深145×高124mm寬80×深178×高170mm
壓力傳感器無(外部)無(外部)
顯示設(shè)定裝置是(可以單獨安裝)是(可以單獨安裝)

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