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SiC多晶的導熱性分布評估分析

  • 發(fā)布日期:2023-05-10      瀏覽次數(shù):793
    • SiC多晶的導熱性分布評估分析

      我們測量了SiC多晶(陶瓷)的熱滲透率分布,并可視化了燒結(jié)體微米量級的熱滲透率分布。 此外,GaN和金剛石可以在寬帶隙材料中測量。

      各種材料的熱物理特性(導熱性和熱滲透性)的分布測量現(xiàn)在可以以微米量級的分辨率進行。 通過評估材料中熱物理性能(導熱性和導熱性)的分布,有望顯著改善高導熱材料的性能。

      國家先進工業(yè)科學技術(shù)研究院先進制造工藝研究室先進燒結(jié)技術(shù)研究組。

      image.png

      碳化硅材料導熱系數(shù) [Wm-1K-1]熱穿透 [JS-0.5m-2K-1]
      4H-C 碳化硅44030,400
      6H-C 碳化硅單晶36628,100
      碳化硅單晶27424,200














      用熱顯微鏡TM3評估材料的熱穿透均勻性

      AlN的透熱性分布評估(AIST先進制造工藝研究部)

      可以確認AlN壓痕部分的熱滲透率較低。

      用熱顯微鏡TM3評估材料的熱穿透均勻性

      金屬玻璃熱滲透率的評價(東京工業(yè)大學)

      金屬玻璃的均勻性可以通過測量透熱性的分布來確認。

      用熱顯微鏡TM3評估材料的熱穿透均勻性


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